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文章来源:tygt002
发布时间:2025-01-03 18:17:21
由于漏孔存在会抵消真空泵部分抽气作用,延长抽气时间,降低真空设备的极限真空。即使在动态情况下能够达到较高真空度,待与真空抽气系统连接阀门关闭,静态内部压力会迅速上升,严重影响器件的工作特性及寿命。真空系统漏气是的,不漏气是相对的,对于动态真空系统,只要其平衡压力能够达到所要求的真空度,这时即使存在着漏孔,也可以为该系统的漏率是容许的,动态真空系统的容许漏率Q一应满足公式()Qmax≤/OPS式中P---系统工作压力S---系统的有效抽速对于静态真空系统,要求在一定时间内,其压力维持在容许的压力以,这时即使存在着漏孔,同样可以认为该系统的漏率是容许的,静态真空系统容许漏率Qmax应满足公式Qmax≤(Pt---P)V/t式中P---系统工作压力Pt—系统极限压力V---系统容积t--时间检漏方法的分类检漏的方法很多,但各有特点和使用范围,究竟选用哪种方法比较合适,要根据具体情况而定,作为比较理想的检漏方法应该满足下述几方面的要求:()检漏灵敏度高,满足少于被检漏率二个数量级以上。
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